《硅薄膜材料》PPT课件 (2)

- 第七章 硅薄膜材料 - 提 纲 - 7.1 非晶硅薄膜材料非晶硅薄膜的特征及基本性质 非晶硅薄膜的制备 非晶硅薄膜的缺陷及钝化 7.2 多