真空阴极弧制备纳米复合Ti-Si-N薄膜的研究

真空阴极弧制备纳米复合Ti-Si-N薄膜的研究标题：真空阴极弧制备纳米复合Ti-Si-N薄膜的研究摘要：本论文采用真空阴极弧离子镀技术制备纳米复合Ti-Si-N薄膜，并深入研究了其结构、成分和性能。通