InGaNGaN外延生长物性研究的中期报告

InGaNGaN外延生长物性研究的中期报告本研究的目标是探究InGaN/GaN外延生长中产生高质量外延膜的途径，并研究这些外延膜的电学和光电性质。本文简要介绍了我们的研究进展和初步结果。1.外延生长过