离子迁移型新型气体流量计的研究综述报告

离子迁移型新型气体流量计的研究综述报告离子迁移型新型气体流量计是一种基于离子迁移速度的原理，测量气体流量的仪器。相比传统的气体流量计，离子迁移型新型气体流量计具有更高的精度、更广的流量范围和更低的压力