发展战略-本研究利用封闭式非平衡磁控溅镀系统发展应用於工业的 精品

摘 要本研究利用封閉式非平衡磁控濺鍍系統發展應用於工業的氮化鉻鎢、氮化鈦鎢及碳化鉻鎢奈米多層鍍膜技術。論文中探討鎢元素、微晶大小、表面粗糙度及調變週期對氮化鉻、氮化鈦及碳化鉻鍍膜，奈米結構及奈米機械