1.0um金属栅工艺开发及转移的中期报告

1.0um金属栅工艺开发及转移的中期报告本次报告旨在介绍1.0um金属栅工艺的开发及转移情况的中期进展。1.研发及优化1.1 工艺流程研发：根据1.0um金属栅工艺的要求，构建了完整的工艺流程，包括前