射频磁控溅射中离子输运的计算机模拟

射频磁控溅射中离子输运的计算机模拟 射频磁控溅射中离子输运的计算机模拟 采用射频辉光放电等离子体壳层模型和蒙特卡罗法,模拟了射频磁控溅射镀膜中工作气体离子(Ar+)的输运过程,得到了离子到达靶面时的入