2021年度离子注入工艺原理讲义

- 离子注入 - 离子注入过程：入射离子与半导体的原子核和电子不断发生碰撞，从而损失其能量，经过一段曲折路径的运动，最后因动能耗尽而停止在半导体中的某处。 离子注入出现的理由：随