体硅水平轴微机械陀螺结构设计研究的中期报告

体硅水平轴微机械陀螺结构设计研究的中期报告一、研究背景微机械陀螺是指直径小于10毫米、质量小于10克的微型陀螺。具有体积小、重量轻、功耗低、响应速度快等优点，被广泛应用于航空、航天、导航、军事、惯性仪