用于制备碳化硅晶圆欧姆接触的激光退火设备改进及工艺开发的开题报告

用于制备碳化硅晶圆欧姆接触的激光退火设备改进及工艺开发的开题报告一、 题目概述本文研究的题目为用于制备碳化硅晶圆欧姆接触的激光退火设备改进及工艺开发。碳化硅晶圆作为一种新型的半导体材料，具有较高的工作