微盘谐振腔及其光子器件的研究的开题报告

硅基微环/微盘谐振腔及其光子器件的研究的开题报告研究背景：微型谐振腔是一种基于微纳制造技术制备的光学器件，具有高 Q 值、小体积、快速响应和低功率损耗等特点，因此在信息传输、传感和量子光学等领域具有广