离子注入机结构构造

- 单元五：掺杂子任务2： 离子注入设备 - 离子注入机结构构造离子注入机是实现注入掺杂的关键设备，不象扩散技术，每种杂质都必需单独配备一套扩散系统，而一台注入机可进行多