反应电火花沉积TiN金属复合涂层研究

反应电火花沉积TiN金属复合涂层研究摘要本文采用反应电火花沉积（RF-PECVD）技术成功制备出了一种TiN金属复合涂层。通过SEM、XRD、和HRTEM对涂层的微观结构和成分进行了表征。涂层由多层极