国家标准《集成电路用低密度-晶体原生凹坑硅单晶抛光片》编制说明送审稿

国家标准《集成电路用低密度-晶体原生凹坑硅单晶抛光片》编制说明（送审稿）一、 工作简况.立项目的与意义集成电路产业是信息技术产业的核心，是国家重要的基础性、先导性和战略性产 业，是推动国民经济和信息