AMS所有规范定期测试项目汇总

定期工艺控制测试应按照下述进度进行，除非该工艺未按测试频率执行，否则应按照下述进度计划进行定期工艺控制测试。工艺控制测试必须在启用闲置工艺前彻底完成。本附件所述要求为附加要求，不得以任何方式取代工艺规