硅基材料表面的结构调制和表征中期报告

硅基材料表面的结构调制和表征中期报告硅基材料是当前微电子行业中最常用的材料之一，具有良好的机械性能和可靠性，因此在集成电路设备和器件中占据着主导地位。表面结构的调制是影响硅基材料电性能和物理性能的重要