新型金属阀在小型压电泵中的应用

新型金属阀在小型压电泵中的应用小型压电泵是一种利用压电效应将电能转化为机械能的设备。由于其体积小、结构简单、功耗低，因此在微流控、微喷雾、微显微镜等领域有广泛的应用前景。而在小型压电泵中，新型金属阀的