基于有限元的MEMS惯性传感器保护装置研究

基于有限元的MEMS惯性传感器保护装置研究摘要：本文研究了基于有限元的MEMS惯性传感器保护装置，通过对MEMS惯性传感器保护装置的结构设计、有限元模拟分析和实验验证，探索实现对MEMS惯性传感器的有