等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究的任务书

等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究的任务书任务书任务名称：等离子体增强化学气相沉积法制备非晶氮化碳薄膜及其性能研究任务背景及意义：在当今科技发展的背景下，材料科学成为人们关注的重