可集成的硅基光互连技术研究

可集成的硅基光互连技术研究 　　摘 要：2013年，该研究针对光互连回路中的关键器件进行了深入的研究，并对新型互连器件和互连方式进行了探索性的研究，取得的主要工作进展包括：硅基片上集成光源方面，探索了