化学气相淀积ppt课件

- 第7章 化学气相淀积 (CVD) - 7.1 CVD概述7.2 CVD工艺原理7.3 CVD工艺方法7.4 二氧化硅薄膜的淀积7.5 氮化硅薄膜淀积7.6 多晶硅薄膜的淀积7