射频容性耦合等离子体中放电模式的实验研究

射频容性耦合等离子体中放电模式的实验研究射频容性耦合等离子体中放电模式的实验研究摘要：射频容性耦合等离子体（RF-CCP）是一种常见的等离子体源，其被广泛应用于等离子体工艺中。本论文通过实验研究了射频