利用磁控溅射制备铟镓锌氧化物薄膜晶体管的研究的任务书

利用磁控溅射制备铟镓锌氧化物薄膜晶体管的研究的任务书任务书任务名称：利用磁控溅射制备铟镓锌氧化物薄膜晶体管的研究任务目的：本任务旨在研究利用磁控溅射制备铟镓锌氧化物薄膜晶体管的方法和工艺，并进一步探究