基于摩擦诱导方法的多点接触微米级加工设备研制的开题报告

基于摩擦诱导方法的多点接触微米级加工设备研制的开题报告1.研究背景随着微观加工技术的发展，人们对微米级加工设备的需求越来越高。在微米级加工过程中，通常使用光刻、电化学加工等技术，但这些方法存在一些问题