2018上海首批次新材料支持指引-上海经济和信息化委员会

附件2018 年度上海市首批次新材料支持指南编号 应用领域 新材料名称一 重大工程和重点产业配套材料1、 新一代信息技术产业用材料8、12 英寸 SOI 晶片8、12 英寸抛光片1.1半导体装备大尺寸