PLD法制备Ga-2O-3薄膜材料及其紫外光响应特性研究.doc

PLD法制备Ga_2O_3薄膜材料及其紫外光响应特性研究近五十年来,基于薄膜半导体材料的光电探测器因其体积小、成本低、功耗低等优点,逐渐替代真空光电管成为当前的主流研究热点。相较于MgZnO、AlGa