基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法

基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法摘要激光功率测试是光学研究领域中的重要实验方法之一。本论文提出了一种基于高性能黑硅MEMS热电堆的激光功率测试方法。该热电堆通过利用黑硅材料的高吸收率和热