高功率脉冲非平衡磁控溅射制备CrN_x薄膜及其性能研究

高功率脉冲非平衡磁控溅射制备CrN_x薄膜及其性能研究摘要：本文采用高功率脉冲非平衡磁控溅射技术制备了CrN_x薄膜，并研究了其结构、显微组织、硬度及耐蚀性等性能。实验结果表明，CrN_x薄膜具有致密