微电子工艺设计教学大纲

微电子工艺设计教学大纲目录 TOC \o "1-5" \h \z 一、课程开设目的与要求 2二、教学中应注意的问题 2三、课程内容 3第一章微电子制造工艺引论和半导体衬底 3第一节微电子制造引论 3第