磁性溅射靶材透磁率测试方法-中国有色金属标准质量信息网

磁性溅射靶材透磁率测试方法编制说明1 工作简况1.1任务来源如钴靶材、镍基合金靶材、铁基合金靶材等磁性溅射靶材均具有较高的磁导率，用于磁控溅射，磁场将多集中在靶材中，而散布在靶材之外的磁场较少，磁控