物理气相淀积

- 5.1.1 真空蒸发设备 - ①真空系统-为蒸发过程提供真空环境；②蒸发系统-放置蒸发源的装置，以及加热和测温装置；③基板及加热系统-放置衬底，对衬底加热及测温装置等。