Cu_Sn等温凝固键合在MEMS气密封装中的应用研究

中国科学院上海微系统与信息技术研究所硕士学位论文Cu/Sn等温凝固键合在MEMS气密封装中的应用研究姓名：杜茂华申请学位级别：硕士专业：微电子学与固体电子学指导教师：罗乐20040401摘要 Cu／S