过渡金属氧化物和氮化物薄膜的低温外延生长及物性研究

过渡金属氧化物和氮化物薄膜的低温外延生长及物性研究近年来，过渡金属氧化物和氮化物材料因其优异的物理、化学和电学性质吸引了人们的广泛关注，被广泛应用于光电、化学和能源等领域。其中，钛氧化物、锰氧化物和氮