硅片预对准系统研制

大连理工大学硕士学位论文 摘 要 硅片预对准系统是一类面向集成电路制造业，在硅片传输过程中，补偿硅片机器 人对硅片的定位误差，集机械、电子、光学、计算机等多学科于一体的，能够自动检测 并精确定位硅片几