飞秒激光打孔硅的孔洞形貌研究

飞秒激光打孔硅的孔洞形貌研究摘要随着电子信息技术的发展，大量的集成电路需要制造，而其中的硅基材料又是最为常用的。因此，如何高效、精准地加工硅基材料，一直是制造领域需要解决的难题。飞秒激光被广泛应用于材