用离子束辅助沉积(IBAD)工艺制备TiC_xN_y膜的研究

用离子束辅助沉积(IBAD)工艺制备TiC_xN_y膜的研究一、背景介绍离子束辅助沉积（Ion Beam Assisted Deposition, IBAD）是一种利用高能离子束辅助沉积的薄膜制备技术