大行程柔性铰链参数优化设计

光学系统在光学显微镜、半导体生产和空间探测等超精密工程领域中得到了广泛的应用［１］。为了保证光路的准确性，光学元器件不但需要有很高的面形精度，而且需要精密的定位系统。以大口径空间望远镜的子镜拼接为例，