精密超精密及特种加工技术

- 精密和超精密是相对而言，在不同的时期有不同的界定。从目前的发展水平来看加工精度在0.1µm～1µm，加工表面粗糙度在Ra0.02µm～0.1µm之间的加工方法称为精密加工；加工精度高于0.1µm，