一种基于磁悬浮定位技术的迈克尔逊干涉仪的动镜系统

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号 CN 115469448 A(43)申请公布日 2022.12.13(21)申请号 202210989317 .7(22)申请日 2022