MEMS湿法腐蚀释放工艺研究

MEMS湿法腐蚀释放工艺研究MEMS湿法腐蚀释放工艺研究摘要：随着微电子技术的不断发展，微电子机械系统(MEMS)由于其微小尺寸，高度集成和低功耗等优点已经成为一种重要的技术。在MEMS器件的制备过程