微成形技术的研究概述

微成形技术的研究概述【摘要】本文简要介绍了硅基微加工技术、LIGA技术、超精密机械 加工技术、微注射成形技术、微铸造成形技术五种微成型加工技术，对其 最新研究成果做出了总结，并对微成型技术的发展趋势进