常压低温等离子体沉积多孔硅基纳米颗粒薄膜的过程研究的综述报告

常压低温等离子体沉积多孔硅基纳米颗粒薄膜的过程研究的综述报告随着纳米技术的不断发展，纳米颗粒在材料科学和工艺中的应用越来越广泛。常压低温等离子体沉积多孔硅基纳米颗粒薄膜是一种新的纳米材料制备方法，具有