单晶硅衬底偏角对锗薄膜沉积生长的影响

单晶硅衬底偏角对锗薄膜沉积生长的影响标题：单晶硅衬底偏角对锗薄膜沉积生长的影响摘要：单晶硅衬底偏角是决定锗薄膜沉积生长过程中影响因素之一。本论文基于相关研究现状，系统分析了单晶硅衬底偏角对锗薄膜沉积生