基于硅塑性变形工艺的二维驱动器的设计与制作

基于硅塑性变形工艺的二维驱动器的设计与制作摘要本文描述了基于硅塑性变形工艺的二维驱动器的设计与制作。首先介绍了该驱动器的原理和优势。接着，详细阐述了该驱动器的设计流程和制作步骤，包括硅基底板的制备、微