自对准顶栅TFT研究方案

自对准顶栅TFT研究方案III研究意义及现状：非晶氧化物半导体（AOS）被认为是很有潜力的半导体材料,将可能广泛的用于平板显示，目前，以非晶IGZO为代表的氧化物TFT得到了广泛的研究，a-IGZ