三氯氢硅氢还原制备高纯多晶硅

三氯氢硅氢还原制备高纯多晶硅1．高纯多晶硅生产工艺简介 20世纪50年代，联邦德国西门子公司研究开发出大规模生产多晶硅的技术，即通常所说的西门子工艺。多晶硅生产的西门子工艺，其原理就是在表面温度