汽车MEMS压力传感器的研究与应用肖沛宏

汽车用MEMS压力传感器的研制及应用摘要：本文介绍了采用扩散硅压力芯片和MEMS封装技术研制汽车压力传感器的过程。项目研制的重点在于对应变压阻芯片的力学特性，封装技术、引线键合的特点及难点、__调制等