高压超结VDMOS工艺优化与结构设计的开题报告

高压超结VDMOS工艺优化与结构设计的开题报告一、选题背景高压超结VDMOS（Vertical Diffusion MOSFET）作为一种高电压开关器件，在各个领域被广泛应用。它拥有许多优良的特性，如