压电薄膜技术

压电薄膜技术1压电薄膜概述体材料（单晶与陶瓷）构成压电器件因受尺寸限制，应用频率一般比较低，压电薄膜可大大提高工作频率。压电薄膜兼有单晶与陶瓷优点：即表面光滑致密，容易制造，价格低廉，便于调变，性能可