表面镀Si-DLC膜微机电器件弹塑性接触及摩擦热有限元分析

表面镀Si-DLC膜微机电器件弹塑性接触及摩擦热有限元分析表面镀Si-DLC膜微机电器件弹塑性接触及摩擦热有限元分析摘要：近年来，微机电系统（MEMS）技术得到了广泛的应用和发展，而其表面涂层对微机电